J-25MUV-193 介紹
帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器，用于測量高達 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脈沖。USB 接口。
主要特點
● 0.19 至 2.1 µm nm 光譜范圍
● 有效區域直徑 25 毫米
● 90 µJ 至 100 mJ 能量范圍
● 500 pps 重復率操作
● 直接 USB 接口
這款 J-25MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層，并針對 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進行了優化。該傳感器直接校準在 193 nm，并包括 0.19 至 2.1 µm 的光譜補償。
EnergyMax-USB J-25MUV-193 能量傳感器端接在 USB 電纜上，可直接與 PC 連接。
可以使用大型散熱器來通過增加平均功率能力來擴展 EnergyMax 傳感器的能量和重復率。
J-25MUV-193 規格
| 型號 | J-25MUV-193（無擴散器） |
| 電纜類型 | USB |
| 有效面積直徑 | 25 mm |
| 探測器涂層 | MaxUV |
| 能量范圍 | 90 µJ to 100 mJ |
| 波長范圍 | 190 nm to 2100 nm |
| 噪聲等效能量 | <9 µJ |
| 最大熱釋電重復率（每秒脈沖數） | 500 |
| 最大平均功率（W） | 5 |
| 最大脈沖寬度（µs） | 43 |
| 最大能量密度（毫焦耳每平方厘米） | 200（193 nm，10 ns） |
| 擴散器 | No |
| 校準不確定度（%）（k=2） | ±3 |
| 能量線性 (%) | ±3 |
| 校準波長（nm） | 193 |
| 電纜長度（m） | 3 |
公司介紹
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J-25MUV-193 KrF激光器193nm激光能量計相干coherent
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